ALD設(shè)備配套使用臭氧尾氣破壞裝置介紹

F2臭氧尾氣破壞裝置是一款專為ALD設(shè)備設(shè)計的催化臭氧處理設(shè)備，采用先進的催化技術(shù)，將臭氧（O?）高效轉(zhuǎn)化為氧氣（O?）。其堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu)確保了長期穩(wěn)定運行，是ALD行業(yè)臭氧尾氣處理的理想解決方案。

核心優(yōu)勢

高效轉(zhuǎn)化：處理效率高達99.99%，輕松應(yīng)對高濃度臭氧尾氣。

堅固耐用：全不銹鋼內(nèi)部結(jié)構(gòu)，無移動部件，適應(yīng)苛刻工業(yè)環(huán)境。

靈活安裝：支持垂直安裝，可逆流動方向，無需區(qū)分進出口，操作更便捷。

經(jīng)濟環(huán)保：可更換催化劑介質(zhì)，維護成本低，使用壽命長。

廣泛適用：專為干燥臭氧氣體設(shè)計（可達30 LPM流量），滿足多種工業(yè)需求。

技術(shù)參數(shù)

處理能力：干燥臭氧氣體，流量≤5L/min（100mg/L）或≤30L/min（200ppm）。

工作壓力：進氣壓力＜0.1MPa。

接口標(biāo)準(zhǔn)：1/4NPT接口，輕松集成現(xiàn)有系統(tǒng)。

重量：僅3kg，輕巧便攜。

輕松維護，省時省力

F2的催化劑更換簡單快捷，僅需三步：

移除頂部蓋板，取出內(nèi)部濾網(wǎng)和墊圈。

倒出舊催化劑，填充全新介質(zhì)。

復(fù)位蓋板，全程不超過30分鐘！

催化劑更換建議

干燥環(huán)境：使用壽命長達數(shù)年，無需頻繁更換。

潮濕環(huán)境：建議每年檢查，若效率下降或污染嚴(yán)重，及時更換。

意外受潮：可低溫烘干（＜200℃），但更換新催化劑更能保障性能與安全。